优势有售日本电子JEOL电镜靶材BS1613 NO.780174721

产品定位与用途

• 扫描电镜样品镀金 / 铂 / 碳导电膜制备

• 实验室薄膜沉积、光学介质膜蒸镀

• 半导体、微电子、材料实验室薄层镀膜

• 低功率、小容量坩埚，适合少量样品、科研小批量实验

结构与材质

1. 整体结构：电子束偏转线圈 + 水冷坩埚基座 + 钨 / 钼蒸发坩埚组件

2. 水冷设计：循环水冷基座，长时间蒸镀不高温变形

3. 坩埚材质：高纯钼 / 钨耐高温坩埚，适配金、铂、碳、铝、铬、氧化物等蒸镀材料

4. 真空适配：超高真空结构，无放气污染样品，满足电镜洁净要求

5. 内置电子束偏转系统，电子束可 270° 大范围扫描轰击耗材

参数

• 额定最大功率：1.3kW（BS1613 对应功率规格）

• 电子束偏转角度：270°

• 冷却方式：循环水冷

• 适用真空度：1×10⁻³ ~ 1×10⁻⁷ Pa

• 适配蒸镀材料：金属、贵金属、氧化物、碳膜

• 工作温度：坩埚最高耐受 2200℃+

• 配套设备：JEOL JFC 系列喷镀仪、真空蒸镀机、薄膜沉积系统