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日本SIMCO思美高负离子器

更新时间:2024-09-06

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厂商性质:经销商

生产地址:

简要描述:
日本SIMCO思美高负离子器
具有广泛可调性和ISO 14644-12电离的调制脉冲技术
品牌SIMCO供货周期现货

日本SIMCO思美高负离子器


Simco-Ion 的 AeroBar 5635 调制脉冲电离棒专为消除半导体和其他需要快速放电时间、低摆幅电压和精密平衡的超洁净制造工艺中的静电荷而设计。5635 型采用 MP 技术,将高频正弦波与调制脉冲 (MP) 相结合,以实现高离子输出和传输。这项突破性技术使 AeroBar 能够安装在晶圆 150 mm 以内。MP 技术与超洁净硅发射点和精密调节相结合,可提供 ISO 14644-12 电离(0.01 μm 颗粒或纳米颗粒)和 ISO 14644 1 级(0.1 μm 颗粒)清洁度,这对于较小的技术节点至关重要。

  • 扩展 ISO 1 级 (10 nm) 颗粒 清洁

  • 调制脉冲技术

  • 出色的横向均匀性

  • 低场电压

  • 空气辅助功能

  • 可选软件,界面易于使用,可调节性广

  • 报警输出信号

日本SIMCO思美高负离子器

规格

电压输入:24 VDC ±10% 功率输入 RJ-45;0.7A(最大值)
输出:13.5 kV p-p(最大值),可调
放电15 秒内 ±1000-100V(典型值),无空气辅助,发射极中心点组下方 24“ 处 Vp-p 摆动为 80
平衡<±35V 在受控环境中以 18“ 距离测量
离子发射调制脉冲 (MP) 技术
发射ISO 14644-1 1 类单晶硅
洁净室类ISO 14644-1(0.1 μm 颗粒)和扩展的 ISO 1 级清洁度(10 nm 颗粒或纳米颗粒),使用 45-50% 输出电压设置和带有单晶硅发射器的 OpenJet 喷嘴
尺寸3.1 英寸(高)x 1.3 英寸(宽)x 17.7 / 23.6 / 33.5 / 39.3 / 45.3 / 51.2 / 57.1 / 63.0 / 69.0 / 74.8 / 80.7 / 86.6 / 92.5 英寸长(7.8 x 3.4 x 45 / 60 / 85 / 100 / 115 / 130 / 145 / 160 / 175 / 190 / 205 / 220 / 235 厘米)


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