日本CANON ANELVA佳能皮拉尼复合真空规

简要描述：日本CANON ANELVA佳能皮拉尼复合真空规
M-361CP是一种结合了测量大气压至中真空的pirani计和测量高真空至超高真空的冷阴极计的组合仪。
宽范围测量仅用一个仪表实现。

Name: 日本CANON ANELVA佳能皮拉尼复合真空规M-361CP-SP/N25
Brand: Canon anelva/佳能真空
Price: 11500 CNY
Availability: InStock

基础信息

产品型号

M-361CP-SP/N25

厂商性质

经销商

更新时间

2026-10-16

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详细介绍

品牌	Canon anelva/佳能真空	价格区间	面议
产地类别	进口	应用领域	综合,半导体,机械设备

日本CANON ANELVA佳能皮拉尼复合真空规

M-361CP-SP/N25 是二合一复合真空规，集成皮拉尼 Pirani（大气压→中真空）+ 冷阴极电离规（高真空 / 超高真空），一支传感器覆盖超宽压力区间，自带两路继电器输出，可直接用于真空联锁、高低真空报警。半导体、镀膜、扫描电镜、科研真空腔体常用。

产品特点

一支代替两支真空规，减少真空接口，降低腔体漏点与系统成本。
内置 2 点继电器设定输出，无需外接比较模块，直接实现真空联锁、泵启停、压力报警。
KF25 快拆法兰，拆装方便，便于腔体维护、传感器更换。
0~10V 标准模拟电压输出，支持远程监测，最长引线可达 300 米。
SUS304 真空本体，低放气，适配洁净真空工艺，适合半导体、电镜等高洁净环境。

参数

品牌：CANON ANELVA（佳能安内华，日本）
测量原理：皮拉尼 + 冷阴极电离复合
量程：1×10⁻⁷ Pa ～ 1×10⁵ Paキヤノンア...
精度：

1×10⁻⁶ ~ 1×10⁴ Pa：±30%
1×10⁴ ~ 1×10⁵ Pa：±50%

重复性：1×10⁻⁶ ~1×10⁴Pa，±5%
供电：DC15～30V，功耗 2.4W
模拟输出：0~10V，接入 PLC / 采集卡做压力记录
开关输出：2 路继电器接点 DC30V，1A，阈值可自定义
电气接头：D-Sub 9 针
真空法兰：NW25（KF25）快拆法兰
外形尺寸：50 (W)×50 (D)×110 (L) mm
工作温度：5～55℃；存储温度：-20～70℃
线缆最大长度：300m（1mm² 线缆）
内部材质：钨灯丝、钼电极、氧化铝绝缘件、SUS304 壳体
认证：CE、RoHS，防护等级 IP40

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M-361CP是一种结合了测量大气压至中真空的pirani计和测量高真空至超高真空的冷阴极计的组合仪。
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