JEOL 日本电子 780110871适配 JEOL JEC-3000FC、Smart Coater 等离子溅射镀膜仪，SEM 扫描电镜样品导电镀膜专用原厂耗材

特点

1. 超高纯度材质纯度99.99%（4N 高纯金），杂质含量极低，溅射放电稳定，膜层成分纯净；金本身导电性能优异，镀膜后可以快速导出电荷，消除绝缘样品荷电、图像发白漂移问题，二次电子发射效率高，成像对比度好。化学惰性强，金膜不易氧化，镀好的样品可以长时间存放，导电层不容易失效。

2. 原厂精密加工，尺寸匹配设备规格 Φ48.5×0.1mm，圆盘平整度、定位孔尺寸严格按照 JEOL 设备腔体设计，直接替换安装，无需修改、调试；靶面精密抛光，表面划痕、缺陷控制严格，溅射区域均匀，不会出现局部膜厚不均、飞溅大颗粒的问题；同批次、不同批次靶材镀膜重复性稳定，实验数据可复现。

3. 溅射速率快，制样效率高金的溅射产额高，同等参数下镀膜速度比铂靶更快，短时间即可形成连续导电薄膜；适合大批量样品快速制样，高校、检测中心批量样品测试非常友好。

4. 真空密封包装，降低污染风险原厂真空独立封装，隔绝空气、粉尘污染；靶材超薄 0.1mm，出厂保护到位，开箱后靶工作面洁净，减少样品被杂质污染的概率。

优势

1. 性价比优势对比 JEOL 原厂铂靶，金靶采购成本更低，大批量常规 SEM 制样可以明显降低实验室耗材开销，是通用 SEM 最主流耗材。

2. 适用样品范围广高分子塑料、粉体、矿物、生物样品、陶瓷等各类绝缘样品均可使用；中低放大倍率观察（一般 5000 倍以内），形貌还原效果优秀，不会掩盖样品宏观表面结构。

3. 设备兼容性好，放电稳定专为 JEOL 磁控溅射冷喷涂工艺开发，溅射过程放电平稳，冷溅射工艺对热敏样品（生物、软塑料）损伤小，不易灼伤、破坏样品原始形貌JEOL USA I

4. 原厂品质保障JEOL 原装备件，配套设备算法、溅射参数是配套标定的，不会出现杂牌靶材常见的：溅射打火、膜层开裂、颗粒飞溅、批次差异大等故障，减少设备腔体污染，延长镀膜仪维护周期。

JEOL 金靶 VS JEOL 铂靶对比