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| 品牌 | Canon anelva/佳能真空 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 电子/电池,综合,半导体,机械设备 |
日本ANELVA佳能二合一复合真空计
日本ANELVA佳能二合一复合真空计
特点
1、测量稳定性
减少了pirani和冷阴极的开关故障,测量因放电和压力指示值波动而停止。
2、大气压检测
通过皮拉尼计良好测量大气压区。
响应性等于振膜表。
3、简单维护
只需更换冷阴极表的一部分。
测量量程:1×10⁻⁷ Pa ~ 1×10⁵ Pa(大气压~高真空)
供电:DC15~30V,功耗 2.4W
模拟输出:0~10V(压力信号,接入 PLC / 温控仪表)
开关输出:2 路继电器接点(DC30V,1A,真空阈值联锁)
电气接头:D-Sub9 针
工作温度:5~55℃
特点:无灯丝冷阴极结构,不存在灯丝烧断问题,耐污染
应用:
真空溅射镀膜、蒸镀、离子注入、SEM 电镜、半导体工艺腔体、真空热处理等设备的全程真空监测与联锁控制。

中崎目前已获得NPM脉冲、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌认证。

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