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日本ANELVA佳能二合一复合真空计

简要描述:日本ANELVA佳能二合一复合真空计
M-361CP是一种结合了测量大气压至中真空的pirani计和测量高真空至超高真空的冷阴极计的组合仪。
宽范围测量仅用一个仪表实现。
为降低系统成本做出贡献。

基础信息

产品型号

M-361CP-SP/N25

厂商性质

经销商

更新时间

2026-11-02

浏览次数

3

产品分类

PRODUCT CLASSIFICATION
详细介绍
品牌Canon anelva/佳能真空价格区间面议
产地类别进口应用领域电子/电池,综合,半导体,机械设备

日本ANELVA佳能二合一复合真空计

日本ANELVA佳能二合一复合真空计



特点

1、测量稳定性
减少了pirani和冷阴极的开关故障,测量因放电和压力指示值波动而停止。

2、大气压检测
通过皮拉尼计良好测量大气压区。
响应性等于振膜表。

3、简单维护
只需更换冷阴极表的一部分。

参数

  • 测量量程:1×10⁻⁷ Pa ~ 1×10⁵ Pa(大气压~高真空)

  • 供电:DC15~30V,功耗 2.4W

  • 模拟输出:0~10V(压力信号,接入 PLC / 温控仪表)

  • 开关输出:2 路继电器接点(DC30V,1A,真空阈值联锁)

  • 电气接头:D-Sub9 针

  • 工作温度:5~55℃

  • 特点:无灯丝冷阴极结构,不存在灯丝烧断问题,耐污染

应用:

真空溅射镀膜、蒸镀、离子注入、SEM 电镜、半导体工艺腔体、真空热处理等设备的全程真空监测与联锁控制。

日本ANELVA佳能二合一复合真空计


中崎目前已获得NPM脉冲、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌认证。

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