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ULVAC爱发科气体监测仪

更新时间:2024-08-23

访问量:212

厂商性质:经销商

生产地址:

简要描述:
ULVAC爱发科气体监测仪
新型工艺气体分析仪(RGA),实现了高压下(1Pa以下)的高精度、高分辨率以及革命性的简单易操作性。来自不同生产线的设备工程师的反馈被纳入产品的设计中,溅射设备的工艺管理(提高品质、提高良率)。
品牌ULVAC/日本爱发科产地类别进口
应用领域环保,化工,电子,综合

ULVAC爱发科气体监测仪


特点

  • 适用于各种溅射系统的工艺监控

  • Air Leak监控

  • 残留水分管理

  • 无需差动排气系统(less than 1 Pa at 7.5 x 10-3Torr/1 x 10-2 mbar)

  • 内置显示屏:无需PC可单独操作使用

  • 可进行高灵敏度泄漏测试(CGM2-052)

  • 可进行全压测定

  • 操作简单-One Click功能

  • 标配Qulee QCS软件

  • 支持CE标准

用途

  • 适用于溅射设备的残余气体分析、工艺监控和杂质管理(H2O)。

  • 用于溅射设备的泄漏测试。

ULVAC爱发科气体监测仪

CGM-051/CGM2-101/CGM-052/CGM2-102

规格

分解能

M/△M=1M(10% P.H.)

型号CGM-051CGM2-101CGM-052CGM2-102
质量分离方式四极型质量分析仪
质量数范围1~50 amu1~100 amu1~50 amu1~100 amu
检出器法拉第杯二级电子倍增管/法拉第杯
感度0.1uA/Pa0.1mA/Pa
最小检知分圧1x10-7Pa1x10-10Pa
最大使用圧力2Pa2Pa(FC)1x10-2Pa(SEM)
线性1Pa
全压力测量功能
Degas functionElectron bombard type 300V, 5mA
一键检漏功能有 / He / H2O / N2 / O2 / Any gas
电源电压DC24V±10% 50W
最大烘烤可能温度
(传感器单元连接时)
120℃
最大烘烤可能温度
(传感器单元移除时)
250℃
使用温度范围10~40℃
接口Ethernet
软件Qulee QCS Ver.4.2以降(Windows 8/10/11)适用
符合标准CE


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