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| 品牌 | NFK/南国工业 | 应用领域 | 电子/电池,综合,半导体,机械设备 |
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日本NFK南国工业不锈钢柔性波纹管
日本NFK南国工业不锈钢柔性波纹管
法兰口径:KF10 / KF16 / KF25 / KF40 / KF50
长度:100mm~3000mm,支持定制长度
材质:波纹管 SUS304 / SUS316L;法兰 SUS304/SUS316L;内壁可选电解抛光 Ra≤0.2μm(洁净款)
工作压力:高真空 (FV)~0.1MPa,短时耐压 0.3MPa
使用温度:-15℃~150℃(Viton 氟胶 O 圈)
氦检漏率:≤1.33×10⁻¹⁰ Pa·m³/s(出厂全检)
介质:干燥空气、惰性气体(不腐蚀不锈钢气体)
允许位移:轴向、横向、角向补偿;严禁扭转受力
CLT 超柔波纹:波纹细密,弯曲力小,减振效果好,吸收分子泵、干泵振动,隔离振动传到真空腔体、精密光学部件
KF 快拆结构:卡箍 + 真空 O 圈密封,拆装不用工具,法兰可旋转对位,维护检修方便
低放气洁净:一体成型波纹管,无编织网,电解抛光版本放气低,适合半导体洁净真空
抗疲劳寿命优于普通焊接波纹管,长期真空工况漏率稳定,不容易掉真空
半导体:PVD/CVD、刻蚀机、离子注入、EFEM 真空管路、真空泵与腔体之间减振连接
真空设备:分子泵、干式泵进出口软管、真空炉、溅射镀膜机
实验室:SEM 扫描电镜、质谱仪、真空测试平台
光学真空、等离子清洗设备
NK-2300KF:KF 快拆法兰
NK-2300V:JIS 真空法兰
NK-2300PT:管端焊接式


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