中崎优势有售日本MIYUKI美幸辉GAR-J300电动真空压力控制蝶阀

参数

• 适用压力区间：大气压 10⁵ Pa ～ 高真空 10⁻⁶ Pa

• 阀座内部泄漏率：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s

• 传动轴外部泄漏率：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s（超高真空级别）

• 密封材质：FKM 氟橡胶 O 型圈，低释气、耐工艺气体腐蚀

• 过流接触材质：阀体 / 阀盘全 SUS304 不锈钢，电解抛光洁净内腔，低颗粒析出

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特点

1. 0～100% 线性开度连续可调，可全程节流调节（全关→全开）

2. 配套 MIYUKI MS-VP2.0 真空压力控制器，实现真空度闭环自动稳压

3. 响应速度快，适配刻蚀、镀膜动态工艺压力波动补偿

4. 阀位实时电压输出，可接入上位机记录工艺曲线

应用场景

1. 半导体刻蚀、薄膜沉积设备主真空节流调压

2. 光学镀膜、电子束蒸发、同步辐射科研真空腔体

3. 光伏、锂电真空制程、高纯特种气体管路压力稳定

4. 超高真空实验室精密压力控制系统